Die Intel Corporation hat nach eigenen Angaben die weltweit erste kommerzielle EUV Lithographie Anlage in Betrieb genommen und eine Pilotanlage zur Produktion von EUV Masken eingerichtet. Laut Intel wird die derzeitige Belichtungstechnik ihre Grenzen in wenigen Jahren erreicht haben, die Extrem Ultraviolett (EUV) Technik soll ab 2009 in der Massenfertigung eingesetzt werden.
Intel will durch die Verwendung des EUV Micro Exposure Tool (MET) und der Pilotanlage zur Herstellung von EUV Masken Schaltkreise herstellen, deren Strukturen nur rund 30 nm klein sind. Dabei werden die weltweit ersten, für diese Technik erhältlichen Maschinen zum Einsatz kommen. Die Testproduktion dient der Vorbereitung auf eine Auflösung von 15 nm, die bei Eintritt der EUV Lithographie in die Produktion benötigt wird. Zum Vergleich: Die kleinsten Strukturen, die derzeit in den Fertigungsanlagen von Intel hergestellt werden, haben eine Größe von 50 nm. Die EUV Lithographie verwendet Licht mit einer Wellenlänge von nur noch 13,5 nm. Zum Vergleich: Heute eingesetzte Verfahren nutzen Licht der Wellenlänge 193 nm.
Intel will mit dem MET die derzeit noch bestehenden technischen Probleme im Rahmen der Entwicklung der EUV Lithographie lösen. Dazu gehört die chemische Zusammensetzung des Fotolacks, der beim Bedrucken der Chips benötigt wird. Außerdem wird die Auswirkung von Maskendefekten beobachtet. Darunter sind Mängel in der Maske zu verstehen, mit der das Schaltkreismuster auf den Chip übertragen wird. Mit dem MET optimiert Intel zudem die Variablen, die beim Druck der winzigen Strukturen in der Massenfertigung eine Rolle spielen.
Neben dem MET hat Intel auch eine Pilotanlage für die Herstellung von EUV Masken installiert. Sie stellt die Grundlage für die zukünftige Maskenproduktion dar, die Intel intern vornehmen will. Die Pilotanlage koppelt EUV-spezifische Module an den bestehenden, betriebseigenen Masken-herstellungsprozess. Die Anlage verwendet das weltweit erste kommerzielle Tool zur Herstellung von EUV Masken.
Mit der neuen MARS 980 PCIe Gen5 SSD-Serie bietet XPG by ADATA, die Gaming-Marke des Speicherspezialisten ADATA Technology, eine Speicherlösung...
Die gamescom 2025 war größer und vielfältiger als je zuvor und erzielte neue Rekorde bei Ausstellenden, Internationalität und Fläche, so...
Kingston kündigte im vergangenen Mai seine erste PCIe 5.0 NVMe M.2 SSD-Familie, die FURY Renegade G5, für Gamer und Enthusiasten...
Mit über 1.000 Gästen war die weltweit führende Konferenz über die Potenziale von Games so groß wie nie zuvor. Über...
Seit der Veröffentlichung des ursprünglichen Solar Bay Benchmarks für Android, iOS und Windows haben Hunderttausende Gamer weltweit ihn getestet, um...
Mit der XPG MARS 980 BLADE Serie bietet ADATA eine flinke PCIe Gen5 SSD-Familie an, die auf den Silicon Motion SM2508 Controller setzt. Wir haben uns das Modell mit 1 TB im Praxistest genau angesehen.
Mit der FURY Renegade G5 führt auch Hersteller Kingston eine PCIe Gen5 SSD im Portfolio. Die Familie basiert auf dem Silicon Motion SM2508 Controller sowie BiCS8-Flash von KIOXIA. Mehr dazu in unserem Test.
Seagate stellt die Exos M und IronWolf Pro Festplatten mit 30 TB vor. Die neuen Laufwerke basieren auf der HAMR-Technologie und sind für datenintensive Workloads bestimmt. Wir haben beide Modelle vorab zum Launch getestet.
Mit der T710 SSD stellt Crucial seine 3. Generation PCI Express 5.0 SSDs vor. Die neuen Drives bieten bis zu 14.900 MB/s bei sequentiellen Zugriffen und sind ab sofort erhältlich. Wir haben das 2-TB-Modell ausgiebig getestet.